1100℃電動開啟式三溫區(qū)管式爐（8.5、11英寸石英爐管）

1000mm

·采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)

·設備中配有2個氧化鋁管堵，設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性）（圖一、二）

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

·該爐可作為退火或擴散爐，最大可用于8”晶片放在對應石英舟中（圖三）

·電動開啟式設計，使得用戶操作更加簡便。（圖四）

熱偶：K型熱偶    建議升溫速率：≤10℃/min  

溫度：1000℃ （1100℃＜1h）  電源：AC220，50Hz   最大功率:8KW

SiC棒（36根）

·8.5英寸或11英寸高純石英爐管

·注意：石英爐管易碎，操作需謹慎

·為了獲得更高的工作溫度，可選用FeCrAl合金管，溫度可達1200℃

·一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈式），4個硅膠密封圈，可使爐管內真空度達到10^-3torr（采用機械泵抽真空）

·左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，Φ6.35的進氣口

·右端法蘭：KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內，測量爐管內溫度和進行溫度校準）

·控溫精度：±0.5℃

·定期對管式爐進行溫度校準，可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括

·1根1200mm的K型鎧裝熱偶

·一Omega溫度校準器

·4'' ~ 8'' 晶片石英支架

·你可以考慮分子泵，真空度可達10-5Torr

2210 L x 770W x 1190 H mm

約500 kg

一年保修，終身技術支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

·多種真空系統(tǒng)可選

·可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

·可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實現(xiàn)氧敏感性材料的燒結制備

·爐管內氣壓不可高于0.02MPa

·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃

·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

·為了在管式爐內獲得準確的溫度，在使用前需要校準溫度，請點擊這里了解如何使用