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型號：OTF-1100X-15-III
產(chǎn)品概述：OTF-1100X-15-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐，采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭（安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表）。爐體設(shè)計為電動開啟式。三個溫區(qū)獨(dú)立控制，可設(shè)置30段升降溫曲線，帶有超溫和短偶保護(hù)，控溫精度為+/-0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。
| 型號 |
OTF-1100X-15-III |
| 爐體結(jié)構(gòu) |
? 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料
? 加熱元件：SiC棒
? 設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵，以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須塞入到爐管內(nèi)部）
? 此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載）
? 電動開啟式設(shè)計，使得用戶操作更加簡便
結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動開啟
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| 加熱區(qū) |
? 總加熱區(qū)長度1000mm
? 三個加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)
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| 工作溫度 |
? 最高工作溫度1100℃
? 最高加熱速率：10℃/min
? 加熱元件：SiC棒（36根）
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| 溫控系統(tǒng) |
控溫精度為+/-0.5℃ |
| 爐管 |
? 15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L
? 注意：石英爐管易碎，操作需謹(jǐn)慎
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| 真空密封&法蘭 |
? 一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?個硅膠密封圈，可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）
? 左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，Φ6.35的進(jìn)氣口
? 右端法蘭：KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）
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| 可選 |
? 此管式爐需定期校準(zhǔn)，以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性，我們可提供簡單的校準(zhǔn)工具：
·1根1200mm的K型鎧裝熱偶
·1個Omega溫度校準(zhǔn)儀表
·此型號管式爐只可選用機(jī)械泵，且最低真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能造成爐管損傷
·4'' ~ 8'' 晶片石英支架
? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備
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| 電壓 |
? 三相380V，50/60 Hz |
| 額定功率 |
? 20KW |
| 產(chǎn)品尺寸 |
? 2300L x 1500W x 1400 H mm
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| 凈重 |
? 300kg |
| 質(zhì)保期 |
? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 |
? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過了UL/MET/CSA |
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