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產(chǎn)品展示

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1150℃三溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品詳情

型號(hào):GSL-1100X-III-8.5T

產(chǎn)品概述:GSL-1100X-III-8.5T是一款通過(guò)CE認(rèn)證并采用UL標(biāo)準(zhǔn)制造的一款三溫區(qū)管式爐。該管式爐配備有8.5英寸的石英管和水冷法蘭,一塊觸摸屏控制溫度和真空度,操作簡(jiǎn)潔方便。最高工作溫度1150℃,真空度可以達(dá)到10-5 torr。該管式爐是一款理想的做退火,擴(kuò)散和CVD等的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
爐體結(jié)構(gòu)
  • 采用雙層殼體風(fēng)冷系統(tǒng)


  • 采用高純度氧化鋁作為爐膛材料,保溫性能極佳,最大限度減少熱量損失。


  • 通過(guò)觸摸屏控制工作溫度,真空度,水冷機(jī)組


  • 在爐子底部安裝有水冷和高真空機(jī)組


  • 采用鉸鏈水冷法蘭,操作方便簡(jiǎn)潔


石英管尺寸
  • 采用高純度石英管


  • 尺寸:  216 O.D x 206 I.D x 1300mm L ?(8.5" O.D?x 8.1" I.D x 51" L)


  • 提示:石英管是損耗品,請(qǐng)點(diǎn)擊左下方的圖片查看相關(guān)細(xì)節(jié)


  • 警告:石英管是易碎品,請(qǐng)妥善保管。人為損壞不在保修范圍內(nèi)


  • 標(biāo)配兩塊氧化鋁纖維管堵,用于阻擋管內(nèi)的熱輻射(加熱爐在工作時(shí)必須放入管堵)


  • 可選石英管堵,提高潔凈度及真空度(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)
       


加熱區(qū)
  • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 900 mm (36")


  • 三個(gè)區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每個(gè)加熱區(qū))


  • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度750 mm (三個(gè)溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度,誤差為+/- 2°C注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 


工作溫度
  • 最高工作溫度 1150°C


  • 連續(xù)工作200~1100°C


  • 最大加熱/冷卻速率10°C/min


  • 溫度分布圖:請(qǐng)點(diǎn)擊這里放大觀看


溫度控制
  • 配備一塊觸摸屏控制溫度


  • 三個(gè)加熱區(qū)可分別設(shè)置30段升降溫程序


  • 控溫精度+/- 1°C


  • 每個(gè)溫區(qū)都配備一個(gè)K型omega原裝熱電偶


真空泵系統(tǒng)
  • 在爐子下方配備了一個(gè)數(shù)子分子泵系統(tǒng)


  • 最高真空度可達(dá)10-5 torr


  • 真空泵由觸摸屏控制


真空系統(tǒng)及法蘭
  • 配備一對(duì)水冷密封法蘭(鉸鏈法蘭)


  • 左法蘭配備:真空計(jì)和觸摸屏控制的電磁閥(用于控制爐內(nèi)氣氛環(huán)境)


  • 右法蘭配備:KF40真空接口,用于連接真空泵接口上的電磁閥


  • 法蘭外端配備一個(gè)外徑1/4"的熱電偶插口,用于方便進(jìn)行溫度校準(zhǔn)


  • 爐子底部配備有一個(gè)16L/min水冷機(jī),用于水冷法蘭的供水
      


可選

可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實(shí)驗(yàn)
    

額定電壓
  • 單相, 220V AC, 50/60 Hz


  • 包括AWG 8#電源線


最大功率

12KW (50A的空氣開關(guān) )

產(chǎn)品尺寸

L 1700×W 750 × H1800mm  

凈重

250Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(爐管,密封圈,加熱元件易耗件除外)

質(zhì)量認(rèn)證


使用注意事項(xiàng)
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa


  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全


  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)


  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊


  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃


  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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