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1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情

型號：OTF-1200X-S-II-4CV-PE

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源（帶自動匹配功能）、上游蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此套完整的設備可用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。

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技術參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-4CV-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 爐體可在0 ~ 30°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出；

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅體進行蒸發(fā)用于后續(xù)的混合物理化學氣相沉積階段。

相關視頻

操作視頻

加熱爐參數(shù)

? 最高溫度：1100oC（<30min）；連續(xù)工作溫度：< 1000℃；

? 兩個PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入功率：110V，單相，功率：1.5KW；

? 回轉爐旋轉速度：0-5 rpm；

? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

蒸發(fā)舟參數(shù)

? 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍）；

? S型熱電偶插入坩堝中實現(xiàn)對蒸發(fā)物料的精確測溫；

? 最高溫度可達1100℃，長期使用溫度1000℃。

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片