1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-II-PEC4 （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示

? 爐體可在0 ~ 25°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度

? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性

? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對(duì)前驅(qū)體進(jìn)行蒸發(fā)用于后續(xù)的混合物理化學(xué)氣相沉積階段。

           操作視頻                   回轉(zhuǎn)爐+送料器操作視頻

? 最高溫度：1200oC（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

? 輸入功率：208-240V，單相，最大功率：2.5KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：2-10rpm；

? 爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。

? 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍）；

? S型熱電偶插入坩堝中實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)物料的精確測(cè)溫；

? 最高溫度可達(dá)1300℃（＜1h），長(zhǎng)期使用溫度：1200℃（當(dāng)管內(nèi)溫度達(dá)800℃時(shí)，蒸發(fā)舟溫度可達(dá)1500℃）。

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿(mǎn)足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

? 爐體尺寸：2800mm L ′ 800mm W ′1700mm H；

? 混氣系統(tǒng)尺寸：600mmL′850mm W′700mm

? 凈重：180kg

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。