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帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動(dòng)速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預(yù)熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國進(jìn)口的無油泵。此款PECVD對(duì)于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對(duì)薄膜的損壞；

? 可通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果；

? 爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)最大溫差為400℃；

? 帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作最高溫度為1100℃

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個(gè)溫區(qū)最大溫差為：400℃

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長儀器的使用壽命。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

? 工作電源：208-240V AC單相，最大功率：4KW

預(yù)熱爐參數(shù)

? 最高溫度：1100℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預(yù)熱爐，也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

電動(dòng)滑軌

? 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果

? 滑動(dòng)速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

升降溫速率

? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購買）

? 為獲得最大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)

加熱速率	冷卻速率
15°C/sec (RT - 150°C)	15°C/sec (1000 - 950°C)
10°C/sec (150°C - 250°C)	10°C/sec (950°C - 900°C)
7°C/sec (250°C - 350°C)	7°C/sec (900°C - 850°C)
4°C/sec (350°C - 500°C)	4°C/sec (850°C - 750°C)
3°C/sec (350°C - 550°C)	2°C/sec (750°C - 600°C)
2°C/sec (550°C - 650°C)	1.5°C/sec (600°C - 500°C)
1°C/sec (650°C - 800°C)	1°C/sec (500°C - 400°C)
0.5°C/sec (800°C - 1000°C)	0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片