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雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱

產(chǎn)品詳情

型號：OTF-1200X-PESDFG-50

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接，可利用CVD方法，將樣品處理后直接移入到氣氛保護環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在實驗室中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接；

? 兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度：1100℃

? 兩個爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

? 電源：AC220，50Hz 最大功率：3KW

手套箱參數(shù)

? 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm

? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片