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小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE-SL

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開(kāi)啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類(lèi)型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性?xún)r(jià)比較為理想。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱(chēng)

小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫；

? 可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力；

? 可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；

? 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

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展示視頻

加熱爐參數(shù)

? 最高溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）。

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿(mǎn)足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
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