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卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情

型號：OTF-1200X-II-PE-RR

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)，設(shè)備由卷對卷銅箔收放密封裝置，等離子射頻電源，1200℃雙溫區(qū)管式爐，質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及真空機組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?；L。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-II-PE-RR

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；

? 收放卷機構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi)，可保證銅箔在密閉的生長條件下進行運動，可有效的實現(xiàn)大規(guī)模制備。

加熱爐參數(shù)

? 最高溫度：1100oC（<30min）；連續(xù)工作溫度：< 1000℃；

? 工作電源：AC 220V，50/60Hz，功率：3KW；

? 兩個PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。

卷對卷銅箔收放密封裝置

? 采用卷對卷收放卷機構(gòu)進行銅箔的移動及進出料，銅箔的移動速度為1-400mm/min可調(diào)；

? 配置一卷約5 kg的銅箔，銅箔寬度：65mm，銅箔厚度0.025mm；

? 收卷機構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻；

? 可根據(jù)要求提供特定的卷繞速度控制器及密封法蘭。

石英氣體噴嘴

? 石英氣體噴嘴可將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開通入，有效地減少副反應(yīng)發(fā)生，實現(xiàn)高端CVD工藝，如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片