· 高純石英管

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

· 外管尺寸: 279?O.D?x?269?I.D?x?1300mm?Length?(11"?O.D?x?10.6"?I.D?x?48"?L),兩端打開，可以連接法蘭

· 內(nèi)管尺寸 : 216?OD?x?206?IDx?750?mm?Length?(8.5"OD?x?8.1"ID?x30"L),一端封閉另一端連接到氣體入口和出口.

請點擊下圖可查看爐管及法蘭安裝

· 采用雙層殼體結構，并帶有風冷

· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，可以最大程度的減少熱量的損失.

· 加熱元件: NiCrAl電阻絲

· 儀器中包含兩個石英管塞，設備在加熱前必須放入爐管內(nèi)，防止熱量以熱輻射的形式散失

·

如果使用內(nèi)管進行薄膜的生長，那么最大可在8英寸的基片上

· 總加熱區(qū)長度： 900 mm (36")

三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

· 最高工作溫度 1100°C ( < 1 hour )

· 正常工作溫度: 200~1000°C

· 最大升溫速率& 降溫速率: 10°C/min

溫度均勻性（請點擊查看）

· 三個精密溫度控制器，采用PID方式控溫，并可設置30段升降溫程序，每個溫區(qū)可以進行獨立控溫

· 控溫儀表操作視頻

· 熱電偶: 三根 K型omega原裝熱電偶，每個溫區(qū)各一根

· 控溫精度: +/- 1°C

· SRC (Silicon?Controlled?Rectifier) power control

可選：PC控溫軟件，將溫度曲線和程序?qū)氲诫娔X中（另購）

· 儀器中包含有一對不銹鋼真空密封法蘭，采用硅膠密封圈密封

· 真空度可以達到10^-2 torr（用機械泵）

· 左側(cè)法蘭：包括 化學汽相淀積進氣口和冷卻氣體in&out端口

右側(cè)法蘭: KF40真空接口和， KF40真空閥門直接于KF-40波紋管和真空泵相連接，（如想泵和KF-25接口相連接，需要另購一個KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭）

· 單相 220V AC, 50/60 Hz

包含電源線插頭AWG 8#

12KW (需50A空氣開關)

· 1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法蘭）

1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法蘭)

200kg

70" x 70" x 65"

500Lbs (227kg)

一年質(zhì)保期，相關耗材除外，如爐管密封圈，加熱元件等易耗件

CE認證