1200℃小型三溫區(qū)開啟式管式爐OTF-1200X-III-C

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） 

·可選購石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度（圖三、四）

·設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性（圖五、六）

·石英爐管：外管直徑為 130 mm，內(nèi)管直徑為100mm,使用時把金屬箔附在內(nèi)管壁上用于CVD反應(yīng)

·雙管真空密封法蘭，反應(yīng)氣體通過兩個管（20mm空隙）流動并進(jìn)行反應(yīng)，強(qiáng)制對流空氣可以通過中心管進(jìn)行快速冷卻（點(diǎn)擊下列圖片查看詳情）（圖七）

熱偶：K型熱偶    建議升溫速率：≤10℃/min   

溫度：1100℃ （1200℃＜1h）  電源：AC220，50Hz   最大功率:7KW

加熱區(qū)長度：900mm (三溫區(qū)：229mm+457mm+229mm)

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr

·法蘭1包含不銹鋼針形閥（點(diǎn)擊圖一查看訂購轉(zhuǎn)接頭）

·法蘭2包含kf5真空接口，方便連接真空泵

·法蘭采用水冷法蘭。當(dāng)工作溫度超過900°C時，需要使用冷卻水（圖二）

·可選：您可在我公司選購液相氣體發(fā)生器，可配合管式爐及CVD系統(tǒng)使用（圖三）

·高純石英管尺寸：

·內(nèi)管尺寸：100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)

·外管尺寸：130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)

·使用時需放置管堵，點(diǎn)擊下圖查看詳情

·可在我公司選購石墨烯生長銅箔（圖一）

·可在我公司選購移動爐架放置設(shè)備（圖二）

·可在我公司選購質(zhì)子流量計、真空機(jī)組等，支撐設(shè)備的同時可向設(shè)備內(nèi)通入各種混合氣體（圖三）

·一對SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)

·兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上（圖一）

·一個真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭（圖一）

·可選：您可以選購kf25真空口法蘭（圖二）

·可選：您可以訂購法蘭支架（圖三）

·包含一款YD518P型溫度控制器

·PID自動控溫系統(tǒng)

·智能化30段可編程控制

·控溫精度：±1℃

·三個溫區(qū)分別有三個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

·通過MET認(rèn)證

·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

2100 L x 450W x 630 H mm

約90Kg

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

·通過機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr（參考值，詳情請點(diǎn)擊）

·通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr（參考值，詳情請點(diǎn)擊）

·可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃

·對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度，在使用前需要校準(zhǔn)溫度，請點(diǎn)擊這里了解如何使用

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