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產(chǎn)品展示

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900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐

產(chǎn)品詳情

型號(hào):RTP-1000-LCD

產(chǎn)品概述:RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速熱處理) 管式爐。包括多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng),在操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。他專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品(尺寸可達(dá)3")退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用12KW的紅外燈加熱,最快升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制,儀表控溫精度是 +/-1℃。RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。


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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐—RTP-1000-LCD (2019.12.24—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 3、配件妥善保管提示


主要特點(diǎn)

· 快速升溫,最高達(dá)50℃/s。

· 配有多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng),在操控的同時(shí),可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

· 超大管徑φ110mm。

· 最高溫度可達(dá)900℃。

· 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。

· 開門斷電。

基本參數(shù)

· 工作溫度:最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(長期)

· 最快升溫速率:室溫~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s

· 法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

· 加熱區(qū)長度:190mm

· 加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW)

· 最大功率:12KW(>60A 保險(xiǎn))

· 設(shè)備電源:AC220V/50HZ 單相

· 循環(huán)水流量:0.5 m3/h

· 標(biāo)配流量計(jì)量程范圍:16-160 ml/min

· 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù)

· 輸入電壓:AC 220V/50Hz單相

· 功率:23W



產(chǎn)品

二通道

三通道

四通道

五通道

工作溫度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

最大壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重復(fù)精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范圍

一路:1~199 SCCM

二路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注意

其他流量范圍的可定制(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM),需額外費(fèi)用

五-九路可按照客戶要求定制

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

· 適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

· 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡便。

· 采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準(zhǔn)確,方便操作。

· 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。

真空法蘭

· 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝,法蘭上有1/4英寸直徑的通孔,用于插入K型熱電偶。

· 熱電偶:K型,熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。

溫控系統(tǒng)

· 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

· 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù)

· 儀表控溫精度: +/- 1°C

· 熱電偶型號(hào):K型

開門斷電

· 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)


認(rèn)證

· 所有電氣部件均為UL認(rèn)證,并可通過TUV、CSA認(rèn)證


質(zhì)保

· 一年保修,終身技術(shù)支持。
· 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

國家專利

· 專利名稱:一種快速高溫退火爐

· 專利編號(hào):ZL-2011-2-0077168.4

· 尊重創(chuàng)新:鄙視抄襲、侵權(quán)必究


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