小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀--GSL-1700X-SPC-2 （2019.11.25—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>  2.圖片未及時(shí)更新提示  3.多種配件可選提示 

·直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品。

·安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻。

·樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)

·氣體流量端口和閥門(mén)內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn)。

      安裝操作視頻              操作視頻

·控溫方式：手動(dòng)控溫/程序控溫

·控溫精度：+/-1℃

·腔體真空度：5*10^-3Pa（表壓只能顯示到 1*10^-1Pa）   

·樣品室：石英腔體：167mm OD. x 152mm ID x 260mm H

·基片：可裝載基片最大尺寸為 50mm

·輸出電壓：DC 18V             

·最大輸出電流：≤ 20A       

·輸入電源：AC220V/50HZ        

·輸入功率：＜500W

·采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量和控制。（圖1）

·采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃）（圖2）

·可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃）

·安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1oC（圖3）

·溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200oC以下0.3oC/s（20oC/ min），在1200 - 1500oC限制到0.15oC/s（10oC/min）

·儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝（圖4、圖5）

        圖1                 圖2                     圖3                    圖4                  圖5

·進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

·進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

·L440mmx W330mm x H630mm

40 kg

·所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

         2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。